IT-800標(biāo)準(zhǔn)版二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)

功能描述

實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量二維材料異質(zhì)結(jié)制作，界面無(wú)膠轉(zhuǎn)移技術(shù)實(shí)現(xiàn)不同二維材料薄層堆疊；目前二維材料異質(zhì)結(jié)的廣泛研究，通過(guò)CVD生長(zhǎng)或者機(jī)械剝離獲得的二維材料尺寸非常微小，造成材料高精度對(duì)準(zhǔn)轉(zhuǎn)移成為實(shí)驗(yàn)技術(shù)難點(diǎn)；艾維特電子科技與中科院聯(lián)合開(kāi)發(fā)的多維度、高精度二維材料異質(zhì)結(jié)轉(zhuǎn)移裝置，可以實(shí)現(xiàn)高于1微米精度的二維材料轉(zhuǎn)移方法，能夠方便快捷實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量異質(zhì)結(jié)制作，解決材料轉(zhuǎn)移的難題，方法步驟為：1、將獲得的二維材料（通過(guò)CVD生長(zhǎng)或者機(jī)械剝離）轉(zhuǎn)移到柔性襯底PDMS或PVA；2、通過(guò)高精度對(duì)準(zhǔn)裝置將柔性襯底上的二維材料轉(zhuǎn)移到目標(biāo)二維材料，然后將異質(zhì)結(jié)從襯底上剝下。3、將帶異質(zhì)結(jié)材料的柔性襯底轉(zhuǎn)移到目標(biāo)襯底，也可以多次重復(fù)過(guò)程2獲得多層異質(zhì)結(jié)。

產(chǎn)品介紹
IT-800型二維轉(zhuǎn)移平臺(tái)適用于石墨烯、各類(lèi)過(guò)渡金屬化合物、黑磷等多種單層及其多層二維材料的精確定位轉(zhuǎn)移及范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)的準(zhǔn)確制備，實(shí)現(xiàn)了低維材料轉(zhuǎn)移的精確可視化操作。本套轉(zhuǎn)移平臺(tái)由轉(zhuǎn)移臺(tái)模塊、樣品臺(tái)模塊、顯微觀測(cè)模塊結(jié)構(gòu)、溫控模塊等組成。該平臺(tái)是研究低維材料性質(zhì)、范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)構(gòu)中低溫物理特性、低維材料中表面界面物理性質(zhì)的有力工具。

產(chǎn)品特點(diǎn)
轉(zhuǎn)移臺(tái)模塊:包含XYZ三維移動(dòng)臺(tái)+旋轉(zhuǎn)臺(tái)+俯仰臺(tái)；XY向：行程25 mm，精度5μm；Z向：行程±5 mm；旋轉(zhuǎn)臺(tái)：粗調(diào)360°，細(xì)調(diào)5°，精度1°；俯仰臺(tái)：范圍±20°，最小讀數(shù)5′
樣品臺(tái)模塊:XYZ三維移動(dòng)臺(tái)+旋轉(zhuǎn)臺(tái)+帶真空吸附的加熱臺(tái)；轉(zhuǎn)移臺(tái)：精度低至10 μm；旋轉(zhuǎn)臺(tái)：可360°旋轉(zhuǎn)，精度1°；加熱臺(tái)：室溫 ~ 200 ℃
顯微觀測(cè)模塊:金相顯微鏡：配置5X 、10X、20X超長(zhǎng)焦物鏡；配置CMOS成像系統(tǒng)及相應(yīng)軟件，支持配置10X目鏡；配置濾波片，支持調(diào)光；配備粗微調(diào)焦裝置，微調(diào)精度2 μm
溫控模塊:高精度PID程序控溫，溫度可達(dá)200 ℃，精度0.1 ℃，升溫速率2 ℃/s （at 150 ℃）
技術(shù)說(shuō)明
典型應(yīng)用：基于低維材料及其異質(zhì)結(jié)的晶體管、光電探測(cè)器、光伏器件等微納電子與光電子器件
臺(tái)體設(shè)計(jì)：采用進(jìn)口精密機(jī)械臺(tái)體，結(jié)構(gòu)緊湊，支持放置于手套箱中
防震設(shè)計(jì)：底座配備蜂窩內(nèi)核三層夾心防震光學(xué)平臺(tái)及隔振阻尼墊
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：轉(zhuǎn)移臺(tái)及樣品臺(tái)支持面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，方便樣品進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)轉(zhuǎn)移
真空吸附：低噪泵體流量 30 L/min，保證樣品吸附
選配功能：樣品臺(tái)可集成Z軸電動(dòng)控制模塊，支持集成無(wú)線(xiàn)控制，手套箱外用按鍵調(diào)控樣品臺(tái)升降

應(yīng)用案例：

部件描述：

轉(zhuǎn)移設(shè)備由：顯微系統(tǒng)、高精度對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)裝置、樣品臺(tái)、溫控系統(tǒng)系統(tǒng)等部分構(gòu)成；

一、             顯微成像系統(tǒng)：

?   顯微鏡、HDMI相機(jī)、顯示器及物鏡構(gòu)成實(shí)時(shí)觀察樣品的位置

二、             高精度對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：

?   組合式位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)五軸調(diào)節(jié)，通過(guò)X\Y\Z及傾斜角度調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)接載玻片位置

?   位移臺(tái)行程：25mm，分辨率：5 μm；

三、             樣品臺(tái)：

?   樣品臺(tái)固定在XY軸帶旋轉(zhuǎn)手動(dòng)位移臺(tái)上，方便樣品位置調(diào)節(jié)，樣品通過(guò)真空吸附的方式固定在樣品臺(tái)上；

?   XY樣品臺(tái)行程：13mm，分辨率：5 μm；

?   旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)，粗調(diào)：360°，微調(diào)：±5°

四、             溫控加熱系統(tǒng)：

?   溫度控制器、加熱器、溫度傳感器構(gòu)成，溫度傳感器及加熱器固定在樣品臺(tái)裝置的樣品座上，用于監(jiān)視和控制樣品溫度；

?   溫度范圍：室溫-200℃；

五、             真空吸附系統(tǒng)（選配）：

?   真空泵連接至樣品臺(tái)裝置樣品座上，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的真空吸附；