IT-2000AT全自動(dòng)轉(zhuǎn)移臺(tái)
IT-2000AT全自動(dòng)轉(zhuǎn)移臺(tái)
自動(dòng)控制方案
驅(qū)動(dòng):壓電驅(qū)動(dòng)移動(dòng)分辨率:步進(jìn) 40nm移動(dòng)精度:優(yōu)于0.lum移動(dòng)行程:12um安裝接口:9.5mm控制方式:軟件控制
驅(qū)動(dòng):壓電驅(qū)動(dòng)移動(dòng)分辨率:步進(jìn) 40nm移動(dòng)精度:優(yōu)于0.lum移動(dòng)行程:12um安裝接口:9.5mm控制方式:軟件控制
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