IT-800標(biāo)準(zhǔn)版二維材料轉(zhuǎn)移臺
功能描述
實現(xiàn)高質(zhì)量二維材料異質(zhì)結(jié)制作,界面無膠轉(zhuǎn)移技術(shù)實現(xiàn)不同二維材料薄層堆疊;目前二維材料異質(zhì)結(jié)的廣泛研究,通過CVD生長或者機械剝離獲得的二維材料尺寸非常微小,造成材料高精度對準(zhǔn)轉(zhuǎn)移成為實驗技術(shù)難點;艾維特電子科技與中科院聯(lián)合開發(fā)的多維度、高精度二維材料異質(zhì)結(jié)轉(zhuǎn)移裝置,可以實現(xiàn)高于1微米精度的二維材料轉(zhuǎn)移方法,能夠方便快捷實現(xiàn)高質(zhì)量異質(zhì)結(jié)制作,解決材料轉(zhuǎn)移的難題,方法步驟為:1、將獲得的二維材料(通過CVD生長或者機械剝離)轉(zhuǎn)移到柔性襯底PDMS或PVA;2、通過高精度對準(zhǔn)裝置將柔性襯底上的二維材料轉(zhuǎn)移到目標(biāo)二維材料,然后將異質(zhì)結(jié)從襯底上剝下。3、將帶異質(zhì)結(jié)材料的柔性襯底轉(zhuǎn)移到目標(biāo)襯底,也可以多次重復(fù)過程2獲得多層異質(zhì)結(jié)。
產(chǎn)品介紹
IT-800型二維轉(zhuǎn)移平臺適用于石墨烯、各類過渡金屬化合物、黑磷等多種單層及其多層二維材料的精確定位轉(zhuǎn)移及范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)的準(zhǔn)確制備,實現(xiàn)了低維材料轉(zhuǎn)移的精確可視化操作。本套轉(zhuǎn)移平臺由轉(zhuǎn)移臺模塊、樣品臺模塊、顯微觀測模塊結(jié)構(gòu)、溫控模塊等組成。該平臺是研究低維材料性質(zhì)、范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)構(gòu)中低溫物理特性、低維材料中表面界面物理性質(zhì)的有力工具。
產(chǎn)品特點
轉(zhuǎn)移臺模塊:包含XYZ三維移動臺+旋轉(zhuǎn)臺+俯仰臺;XY向:行程25 mm,精度5μm;Z向:行程±5 mm;旋轉(zhuǎn)臺:粗調(diào)360°,細(xì)調(diào)5°,精度1°;俯仰臺:范圍±20°,最小讀數(shù)5′
樣品臺模塊:XYZ三維移動臺+旋轉(zhuǎn)臺+帶真空吸附的加熱臺;轉(zhuǎn)移臺:精度低至10 μm;旋轉(zhuǎn)臺:可360°旋轉(zhuǎn),精度1°;加熱臺:室溫 ~ 200 ℃
顯微觀測模塊:金相顯微鏡:配置5X 、10X、20X超長焦物鏡;配置CMOS成像系統(tǒng)及相應(yīng)軟件,支持配置10X目鏡;配置濾波片,支持調(diào)光;配備粗微調(diào)焦裝置,微調(diào)精度2 μm
溫控模塊:高精度PID程序控溫,溫度可達200 ℃,精度0.1 ℃,升溫速率2 ℃/s (at 150 ℃)
技術(shù)說明
典型應(yīng)用:基于低維材料及其異質(zhì)結(jié)的晶體管、光電探測器、光伏器件等微納電子與光電子器件
臺體設(shè)計:采用進口精密機械臺體,結(jié)構(gòu)緊湊,支持放置于手套箱中
防震設(shè)計:底座配備蜂窩內(nèi)核三層夾心防震光學(xué)平臺及隔振阻尼墊
結(jié)構(gòu)設(shè)計:轉(zhuǎn)移臺及樣品臺支持面內(nèi)旋轉(zhuǎn),方便樣品進行對準(zhǔn)轉(zhuǎn)移
真空吸附:低噪泵體流量 30 L/min,保證樣品吸附
選配功能:樣品臺可集成Z軸電動控制模塊,支持集成無線控制,手套箱外用按鍵調(diào)控樣品臺升降
應(yīng)用案例:
部件描述:
轉(zhuǎn)移設(shè)備由:顯微系統(tǒng)、高精度對準(zhǔn)系統(tǒng)裝置、樣品臺、溫控系統(tǒng)系統(tǒng)等部分構(gòu)成;
一、 顯微成像系統(tǒng):
? 顯微鏡、HDMI相機、顯示器及物鏡構(gòu)成實時觀察樣品的位置
二、 高精度對準(zhǔn)系統(tǒng):
? 組合式位移臺實現(xiàn)五軸調(diào)節(jié),通過X\Y\Z及傾斜角度調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)接載玻片位置
三、 樣品臺:
? 樣品臺固定在XY軸帶旋轉(zhuǎn)手動位移臺上,方便樣品位置調(diào)節(jié),樣品通過真空吸附的方式固定在樣品臺上;
? XY樣品臺行程:13mm,分辨率:5 μm;
? 旋轉(zhuǎn)位移臺,粗調(diào):360°,微調(diào):±5°
四、 溫控加熱系統(tǒng):
? 溫度控制器、加熱器、溫度傳感器構(gòu)成,溫度傳感器及加熱器固定在樣品臺裝置的樣品座上,用于監(jiān)視和控制樣品溫度;
? 溫度范圍:室溫-200℃;
五、 真空吸附系統(tǒng)(選配):
? 真空泵連接至樣品臺裝置樣品座上,實現(xiàn)對樣品的真空吸附;