特點

類型

規(guī)格

* 適用于6英寸以內(nèi)的各種半導體器件的高精度測試
*同軸驅(qū)動CHUCK
*可以升級做射頻測試
*20X~2000X 光學顯微放大
*無后座力移動
*可以選擇顯微鏡傾仰裝置或者氣動升降裝置

顯微鏡控制

在探針臺本體的功能設計上增加了顯微鏡的氣動升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題

顯微鏡X-Y軸行程：2" x2"

顯微鏡放大倍率：20X~2000X （倍率可選）

chuck（卡盤）

尺寸：6英寸，圓形（方形可選）

材質(zhì)：不銹鋼（可升級鍍金）

旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動行程：6" x6"，移動精度：5um（可升級為1um精度）

Z軸升降行程：5mm，卡盤快速升降，方便更換樣品，不會碰觸到其他已調(diào)試好器件

吸附孔：中心孔徑最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸為6"X6"

整體規(guī)格

尺寸：850mm長 x 680mm寬 x 720mm高 (帶顯微鏡)

重量： 100 Kg(帶顯微鏡)

U型大平臺，可放置8個探針座

平整度：5um，使針座吸附更牢固（可定制針座固定在平面上）

附件可選：

激光切割、探針卡夾具、高低溫樣品臺、防震桌、CCD視頻系統(tǒng)、屏蔽箱、顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測