源測量單元 (SMU) 可精確地發(fā)起電壓或電流以及同時測量電壓和/或電流。 它兼具以下儀器的有用功能：

數(shù)字萬用表 (DMM)
電源
實際電流源
電子負載
脈沖發(fā)生器
在緊湊型外形中的一臺緊閉同步儀器集成上述所有儀器。 即使具有多種功能，SMU 的精度并未受到影響。 事實上，由于測量儀器具有通用性和高精度性能，SMU 比五臺儀器的任幾臺儀器組合起來都有用。