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IT-1000型高精度二維轉(zhuǎn)移臺

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IT-1000型高精度二維轉(zhuǎn)移臺

實現(xiàn)高質(zhì)量二維材料異質(zhì)結(jié)制作,界面無膠轉(zhuǎn)移技術(shù)實現(xiàn)不同二維材料薄層堆疊;目前二維材料異質(zhì)結(jié)的廣泛研究,通過CVD生長或者機械剝離獲得的二維材料尺寸非常微小,造成材料高精度對準轉(zhuǎn)移成為實驗技術(shù)難點;艾維特電子科技與中科院聯(lián)合開發(fā)的多維度、高精度二維材料異質(zhì)結(jié)轉(zhuǎn)移裝置,可以實現(xiàn)高于1微米精度的二維材料轉(zhuǎn)移方法,能夠方便快捷實現(xiàn)高質(zhì)量異質(zhì)結(jié)制作,解決材料轉(zhuǎn)移的難題,方法步驟為:1、將獲得的二維材料(通過CVD生長或者機械剝離)轉(zhuǎn)移到柔性襯底PDMS或PVA;2、通過高精度對準裝置將柔性襯底上的二維材料轉(zhuǎn)移到目標二維材料,然后將異質(zhì)結(jié)從襯底上剝下。3、將帶異質(zhì)結(jié)材料的柔性襯底轉(zhuǎn)移到目標襯底,也可以多次重復(fù)過程2獲得多層異質(zhì)結(jié)。
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